Tên sản phẩm: Mục tiêu phún xạ zirconium

Lớp vật liệu: Zr702 (ASTM B493 Lớp R60702)

Cấp độ tinh khiết: 99,95% (3N5) Dựa trên kim loại-(Hf-miễn phí)

Ứng dụng cốt lõi: Bao bì bán dẫn tiên tiến, lớp phủ quang học, điện cực phía sau pin mặt trời, lớp kết nối vi điện tử (quy trình PVD)

Tiêu chuẩn sản xuất: Tuân thủ tiêu chuẩn ASTM B493/B493M-14 (Thông số kỹ thuật cho việc rèn hợp kim zirconium và zirconium) và SEMI M13-1102 (Thông số kỹ thuật chung cho mục tiêu phún xạ)

Mật độ lý thuyết của Mục tiêu phún xạ zirconium là 6,51 g/cm³, mật độ của nó lớn hơn hoặc bằng 99,0%, độ dẫn nhiệt của nó là 22,6 W/m·K và hệ số giãn nở nhiệt (20–300 độ) là 5,7 × 10⁻⁶ /K. Các thông số này là các giá trị được đo cho các mục tiêu Zr702 có độ tinh khiết cao ở trạng thái ủ tiêu chuẩn, phù hợp với các ứng dụng phún xạ magnetron DC/RF công suất cao và thể hiện độ ổn định nhiệt vượt trội so với các vật liệu có độ tinh khiết 99,9%.

Yêu cầu về chất lượng bề mặt và cấu trúc vi mô của sản phẩm:

Kích thước hạt: Nhỏ hơn hoặc bằng 50 μm (trung bình), được đo bằng EBSD (Nhiễu xạ tán xạ ngược điện tử), với độ lệch chuẩn của phân bố kích thước hạt Nhỏ hơn hoặc bằng 15 μm.

Độ nhám bề mặt (Ra): Nhỏ hơn hoặc bằng 0,8 μm, được đo bằng máy đo cấu hình quang học 3D (ISO 4287), không có vết trầy xước, vết lõm và vết rỗ.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm2 bị từ chối.

Cấu trúc vi mô: Cấu trúc pha -đồng trục. SEM (độ phóng đại 500×), không có lỗ rỗng, tạp chất và sự phân tách.

Tất cả các mục tiêu được làm đặc bằng cách ép đẳng tĩnh nóng (HIP) để đảm bảo cường độ liên kết ranh giới hạt Lớn hơn hoặc bằng 180 MPa, đáp ứng yêu cầu không bị hỏng phân tách sau Lớn hơn hoặc bằng 500 giờ phún xạ liên tục.

Thông số kỹ thuật đóng gói và vận chuyển cho mục tiêu phún xạ zirconium (Tuân thủ GHS và IEC):

Bao bì bên trong: Hút chân không kín (Nhỏ hơn hoặc bằng 1×10⁻³ mbar) + chứa đầy -argon có độ tinh khiết cao (99,999%), phù hợp với tiêu chuẩn ASTM F2095.

Bao bì bên ngoài: Túi nhôm chống ẩm-hai lớp + xốp đệm EPE + thùng gỗ (tuân thủ ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Nhãn bảo vệ độ ẩm: Thẻ chỉ báo chống ẩm + độ ẩm (Nhỏ hơn hoặc bằng 5% RH), tuân thủ IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: Tuân thủ GHS Bản sửa đổi lần thứ 7, bao gồm 16 phần tiêu chuẩn, bao gồm rủi ro nổ bụi Zr (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Nhãn vận chuyển: UN 1399 (kim loại rắn không-dễ cháy) + chất ăn mòn.

Mỗi hộp bao gồm một gói hút ẩm (silica gel) và máy ghi độ ẩm. Kiểm soát nhiệt độ trong suốt quá trình vận chuyển: 5–30 độ, độ ẩm tương đối Nhỏ hơn hoặc bằng 40%.

Câu hỏi thường gặp

Hỏi: Bạn có thể cung cấp các nghiên cứu trường hợp khách hàng điển hình về Mục tiêu phún xạ zirconium không?

Đáp: Mười nhà sản xuất chất bán dẫn hàng đầu thế giới, bao gồm TSMC, Samsung Electronics, Intel và SK Hynix, đều là những-người dùng cuối gián tiếp của mục tiêu zirconi. Các quy trình tiên tiến của họ (chẳng hạn như các nút dưới 5nm) sử dụng rộng rãi các mục tiêu Zr702 cho các lớp rào cản kim loại, lớp thụ động giao diện và cấu trúc liên kết, được lắng đọng bằng thiết bị PVD như Vật liệu ứng dụng Endura® và Lam Research Kiyo®. Do đó, các mục tiêu zirconium được nhúng làm vật liệu chức năng chính trong quy trình sản xuất hàng loạt của chúng.

Các công ty quang điện và màn hình quốc tế hàng đầu, chẳng hạn như LG Display, Samsung Display và First Solar, sử dụng các mục tiêu zirconi có độ tinh khiết cao-trong lớp phủ điện cực của tấm nền OLED và sản xuất điện cực phía sau pin mặt trời CIGS để đạt được sự lắng đọng màng mỏng kim loại có điện trở suất thấp,-độ ổn định cao, đáp ứng nhu cầu sản xuất có diện tích-lớn,{4}}đồng đều cao.

Các công ty sản xuất hàng không vũ trụ và quốc phòng-cao cấp, bao gồm Lockheed Martin, Boeing và Northrop Grumman, sử dụng mục tiêu zirconi để lắng đọng PVD các lớp phủ-nhiệt độ cao, chống ăn mòn-, áp dụng cho các bộ phận động cơ, hệ thống bảo vệ nhiệt và cấu trúc tàng hình của radar. Các tiêu chuẩn mua sắm của họ rất nghiêm ngặt, yêu cầu phải tuân thủ chứng nhận AS9100D và truy xuất nguồn gốc COA theo lô.

Hỏi: Bạn có chấp nhận thư tín dụng ngân hàng không?

Đáp: Có, chúng tôi chấp nhận thư tín dụng (L/C) làm phương thức thanh toán cho việc mua hàng. Xin vui lòng giữ liên lạc.

Câu hỏi: Các mục tiêu phún xạ zirconium thường được chứng nhận bởi ISO 9001, IATF 16949 và AS9100 phải không?

Đáp: Có, trong lĩnh vực mục tiêu phún xạ zirconi cho các ứng dụng công nghiệp và{0}}cao cấp, các chứng chỉ ISO 9001, IATF 16949 và AS9100D đã trở thành tiêu chuẩn đầu vào phổ biến và bắt buộc.

Chú phổ biến: mục tiêu phún xạ zirconium, nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy mục tiêu phún xạ zirconium Trung Quốc