Mục tiêu titan

Sự thuần khiết
Độ tinh khiết là một trong những chỉ số hiệu suất chính của mục tiêu, bởi vì độ tinh khiết của mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của phim . Tuy nhiên, trong các ứng dụng thực tế, các yêu cầu tinh khiết đối với mục tiêu không phải là cùng một " 0 {{11 đưa
Nội dung tạp chất
Các tạp chất trong chất rắn mục tiêu và hơi oxy và hơi nước trong lỗ chân lông là các nguồn ô nhiễm chính của các mục tiêu . cho các mục đích khác nhau có các yêu cầu khác nhau đối với hàm lượng tạp chất khác nhau .
Tỉ trọng
Để làm giảm độ xốp trong chất rắn mục tiêu và cải thiện hiệu suất của màng phun, mục tiêu thường được yêu cầu phải có mật độ cao . Mật độ của mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phun, mà còn ảnh hưởng đến các tính chất của phim Và cường độ của mục tiêu làm cho mục tiêu có thể chịu được ứng suất nhiệt tốt hơn trong quá trình phun . cũng là một trong những chỉ số hiệu suất chính của vật liệu đích .}