Tại sao chất lượng mục tiêu lại quan trọng
Mục tiêu phún xạ có độ tinh khiết cao-là nguyên liệu chính cho quá trình lắng đọng hơi vật lý. Trong chất bán dẫn, lớp phủ quang học, lớp phủ trang trí, lớp phủ công cụ và ứng dụng nghiên cứu, mục tiêu ảnh hưởng trực tiếp đến thành phần màng, hiệu suất hạt và độ ổn định lắng đọng.
Các mục tiêu phún xạ có độ tinh khiết cao-được sử dụng làm nguyên liệu nguồn cho quá trình phún xạ PVD và magnetron.
Các yếu tố ảnh hưởng đến độ ổn định của màng
Một số yếu tố vật liệu và xử lý có thể ảnh hưởng đến hiệu suất phún xạ. Độ tinh khiết xác định mức độ tạp chất của màng lắng đọng. Mật độ ảnh hưởng đến sự ổn định của huyết tương và tuổi thọ của mục tiêu. Kích thước hạt và cấu trúc vi mô ảnh hưởng đến hành vi xói mòn. Kiểm soát hoàn thiện bề mặt và làm sạch giúp giảm các hạt trước khi mục tiêu đi vào buồng phủ.
Danh sách kiểm tra thông số kỹ thuật dành cho người mua
- Chất liệu và độ tinh khiết: titan, zirconium, niken, vonfram, molypden, tantalum, niobi hoặc hợp kim
- Hình dạng và kích thước: hình tròn, hình chữ nhật, mặt phẳng hoặc bản vẽ tùy chỉnh
- Tấm nền và liên kết: xác nhận xem có cần dịch vụ liên kết hay không
- Bề mặt hoàn thiện: gia công, đánh bóng, làm sạch và đóng gói chân không
- Kiểm tra: thành phần, mật độ, kích thước và kiểm tra bề mặt trực quan
Hình dạng mục tiêu, mật độ và độ hoàn thiện bề mặt ảnh hưởng đến độ ổn định lắng đọng và việc sử dụng mục tiêu.
Khi nào cần yêu cầu mục tiêu tùy chỉnh
Các mục tiêu tùy chỉnh được khuyến nghị khi thiết bị phủ có thiết kế kẹp đặc biệt, yêu cầu làm mát, bố trí máy phát cao tần hoặc cấu trúc liên kết. Người mua nên cung cấp bản vẽ, độ dày mục tiêu, dung sai, vị trí lỗ vít, vật liệu tấm nền và công suất làm việc nếu có.
Khả năng cung cấp kim loại CLJZ
Shaanxi Changlong Jiuzhou Metal Technology cung cấp-nguyên liệu kim loại có độ tinh khiết cao và các mục tiêu phún xạ bao gồm các sản phẩm titan, zirconi, niken, vonfram, molypden, tantalum và niobi. Công ty có thể hỗ trợ các đơn đặt hàng dùng thử, gia công tùy chỉnh, đóng gói xuất khẩu và trao đổi kỹ thuật trước khi báo giá.